管式低压磷扩散炉
管式低压磷扩散炉
技术特点 Features
· 高方阻技术解决方案。
· 独特双嵌套炉门结构，有效解决炉口偏磷酸问题。
· 独特温区设置，有效解决炉口炉尾方阻均匀性。
· 高速平稳整体模组推舟机构。
· 智能化全自动控制。
· 自主知识产权MES软件。
· 匹配S.C智能化生产管理系统。
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